Расчет конструкционно-технологических ограничений

Технологическая норма - минимальный размер окна, который может быть реализован на фотошаблоне. Расчёт всех размеров исходит из технологической нормы.

Технологическая норма:

Толщина изолирующего окисла:

Толщина слоя металлизации:

Запас:

Систематические погрешности:

Увеличение размера проэкспонированной области при фотолитографии: .

Боковое травление удаляемого материала:

При жидкостном травлении: ;

При ионно-плазменном травлении:

Боковая диффузия: , где - толщина слоя.

Случайные погрешности:

Неточность изготовления фотошаблона:

.

Ошибка совмещения фотошаблонов: .

Погрешность при травлении:

При жидкостном травлении:

;

При ионно-плазменном травлении:

.

Погрешность боковой диффузии: .

Размер контактного окна в структуре:

С учётом случайной погрешности:

Размер металлизации контактных окон:

Размер на фотошаблоне:

Размер металлизации дорожки:

Расстояние между дорожками металлизации:

Размер эмиттера:

Размер активной базы:

Перейти на страницу: 1 2

Еще статьи по теме

Разработка системы управления импульсным стабилизатором напряжения на основе двухтактного преобразователя
Преобразователь со средней точкой первичной обмотки трансформатора показан на рис. 1.1. Рисунок 1.1 - Преобразователь со средней точкой первичной обмотки В рассматриваемой схеме преобразователя все элеме ...

Разработка автоматизированного рабочего места оператора обработки информации радиотехнических систем
Автоматизированное рабочее место - индивидуальный комплекс технических и программных средств, предназначенный для обработки и отображения информации. Автоматизированное рабочее место обеспечивает оператора всеми средствами, н ...

Главное меню

© 2020 / www.techsolid.ru