Выбор легирующей примеси

Выбор легирующих примесей, используемых при создании структуры транзистора, производится с учетом следующих критериев:

Тип проводимости примеси.

Предельная растворимость примеси в кремнии.

Коэффициенты диффузии примеси в кремнии и оксиде кремния.

Для создания области скрытого коллекторного слоя выберем сурьму, так как она обладает достаточно низким коэффициентом диффузии, что не позволяет ему сильно "разгоняться" во время проведения всех последующих термических операций. Для создания областей p типа используем бор, для областей n типа - фосфор. Эти примеси имеют коэффициент диффузии в кремнии больший, чем в оксиде кремния, что позволяет использовать последний в качестве диффузионной маски.

Еще статьи по теме

Проектирование аналогового электронного устройства
Спроектировать аналоговое устройство выполняющее операцию согласно выражению зависимости выходного сигнала Y от входных сигналов Х1 и Х 2 Y = (dХ1/ dt) × (Х1 + ln Х2). Сигнал Х1 Iпост = 0…5 мА с аддитивной высокочас ...

Радиотелеметрическая система
Телеметрией называют область техники, которая занимается вопросами измерений различных физических величин, характеризующих состояние исследуемых объектов или процессов; передачей результатов этих измерений на р ...

Главное меню

© 2020 / www.techsolid.ru